半导体行业需求回暖叠加中国大陆晶圆厂络续扩产，国内半导体修设墟市长久希望保守增进PG电子官网。质料限定贯穿晶圆成立全进程，是芯片出产良率的要害保证PG电子官网，进步造程将对工艺限定秤谌提出更高条件，量检测修设代价量希望倍增。咱们测算，2023/2024/2025/2026年环球半导体量检测修设墟市空间差异为105/120/138/145亿美元，CAGR达11.5%，中国大陆半导体量检测修设墟市空间差异为35/41/48/51亿美元，CAGR达12.8%。

　　咱们测算，2022年环球光学/电子束/X光检测修设墟市份额差异为74.2%/19.7%/2.2%，光学检测速率疾、无接触，然而进步节点检测灵巧度有限；电子束检测精度较高设备，然而速度较慢、修设本钱较高；跟着芯片质料和组织杂乱性络续提拔，多体系组合希望成为检测本事目标。

　　据VLSIResearch、QYResearch，2020年环球半导体量检测修设行业CR5达82%，KLA历经多次并购，产物品种完全，2020年KLA量检测修设环球市占率达51%；ASML将量检测修设与EUV体系配套，电子束检测修设角逐上风明显，据the information network，2022年ASLM电子束检测修设环球市占率达50%。目前量检测修设国产化率较低，本土重要供应商席卷上海精测、中科飞测和睿励仪器，2018-2022年三家公司国内墟市份额合计0.67%/0.60%/2.11%/2.38%/3.17%，地缘身分影响下，量检测修设国产替换正正在加快设备。

　　半导体量检测修设空间壮阔，国产替换正正在加快，提倡闭心精测电子、中科飞测、中微公司、赛腾股份、天准科技。1）精测电子：藏身面板检测主业，半导体产物络续完好，明场检测修设转机当先；2）中科飞测：聚焦量检测修设近十年设备，纳米图形晶圆缺陷检测、要害尺寸量测等修设加快研发；3）中微公司：多次增资睿励仪器PG电子官网，量检测收入络续增进；4）赛腾股份：收购日本Optima，结构晶圆检测修设；5）天准科技：加快结构半导体范围PG电子官网，首台明场检测修设已交付客户试用设备。初度笼盖PG电子官网半导体前路量检测设置行业陈述：要点产物延续冲破国产取代正正在加快（国海证券研报），予以半导体前道量检测修设行业“推选”评级。

　　危机提示：半导体行业景心胸苏醒不足预期；半导体修设国产替换不足预期；行业角逐加剧危机；墟市空间测算缺点危机；要点闭心公司事迹不足预期；讨论陈诉操纵的公然材料或者存正在新闻滞后或更新不实时的危机等。

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